SIOS精密量測

德國製造，品質保證。

自 1991 年以來，SIOS 一直致力於開發和製造用於校準和奈米計量的雷射干涉儀和其他精密測量儀器，以更高分辨率和更低測量不確定度測量長度、角度、振動、直線度、品質、力和其他指標。

SIOS不僅是雷射干涉測量系統的領導製造商之一，也是歐洲最重要的穩頻氦氖雷射供應商之一，其產品作為計量光源具有極高的波長穩定性。憑藉NMM-1奈米定位奈米測量機，也提供世界上最精確的定位系統，因此是該領域的市場領導者。

SIOS致力於提供高品質的標準感測器、客戶客製化產品開發以及個人化的 OEM 解決方案，例如研發、校準、機械工程、光學和半導體產業、醫療技術、奈米計量和地球科學等領域。

產品功能及特性

  • 最新最高的歐盟量測標準
  • 光纖耦合的傳感測頭技術
  • 同時具有長度和角度測量的最高精度
  • 高度穩頻He-Ne雷射作爲長度基準
  • 環境因素引起的雷射波長變化進行修正
  • 高精度振動分析和長度測量系統
  • 長度測量

  • 校準

  • 探針測量

  • 測量和校準系統

  • 環境測量

  • 角度測量

  • 振動測量

  • 奈米定位

  • 氦氖穩頻雷射

  • 測量軟體

關於同時測量長度和角度，你需要了解哪些內容？

只量測長度、而不同時量測角度，不再屬於先進的量測方式。

SP-NG 雷射干涉儀

  • 量測範圍 : 0-80 m，解析度 : 0.5 nm
  • 靈活、超精確的長度測量系統
  • 現代工業防濺水設計
  • 單光束測量原理可大幅度減少阿貝Abbe誤差
  • 緊湊的結構方便現場使用

SP-DI 雙光束雷射量測儀

  • 量測範圍 : 0-5 m/12°，解析度 : 0.5 nm/0.001 arcsec
  • 雙光束差異長度和角度測量，可達最高的準確性
  • 感測頭以鋁合金或不鏽鋼為結構
  • 長期量測穩定性高
  • 差分測量可將環境影響降至最低

SP 5000 TR 三光束雷射量測儀

  • 量測範圍 : 0-5 m/12°，解析度 : 2 nm/0.002 arcsec
  • 同時測量長度、pitch和yaw角度
  • 快速易用的 DIN ISO 230-1 長度及角度量測軟體
  • 快速顯示結果的校準軟體
  • 根據阿貝Abbe偏移量校正測量誤差

SP 15000 C5/6 多自由度雷射量測系統

  • 量測範圍 : 0-15 m/ 5°，解析度: 2 nm/ 0.0004 arcsec
  • 同步、連續5/6 自由度測量長度、pitch和yaw角度以及直度
  • 單軸直度的水平和垂直量測都由雷射干涉技術做測量。
  • 採用標準校準及量測分析軟體
  • 通過整合光束方向檢測輕鬆處理和調整光路對位

LSV-NG 雷射震動量測分析系統

  • 高精度、非接觸振動和長度測量
  • 可選用定焦式或變焦式機種,工件表面粗度不受限
  • 頻率範圍內的位移測量0–5 MHz
  • 可以通過反射微細雷射光點進行測量
  • 視窗介面振動測量軟體含光譜分析的 FFT 分析軟體

NA 雷射顯微震動量測分析系統

  • 可測量頻率範圍 : 0-5 MHz
  • 微型物體顯微鏡的高精度非接觸振動測量
  • 特定於應用程式的整合
  • 可測振動光譜及共振頻率等
  • 用於光譜分析的 FFT 軟體

NMM-1奈米定位量測系統

  • 測量和定位範圍：25 mm x 25 mm x 5 mm 解析度：0.1 nm
  • 精度最高的3D多感測器定位和測量系統
  • 控制採用在系統上易於使用的腳本語言
  • 定製探針系統，如雷射對焦感測器LFS系列、原子力顯微鏡、白光干涉儀、3D微探頭
  • 操作模式：動態定位系統測量或系統在連續掃描模式或單步模式下運行

LCS 氣候量測站

  • 以最高精度獲取溫度、氣壓和空氣濕度的量測值
  • 有線和無線感測器的連接
  • 所有測量探頭與測量電子產品一起進行數位校準
  • 可選購所有感測器的工作校準與工作測試證書
  • 易用於監控精密測量和測試設置

SL 氦-氖穩頻雷射

  • 定製雷射耦合成單模式和多模式光纖
  • 適合標準和極化獲得單模纖維
  • 對於頻率穩定和不穩定的 HeNe 雷射
  • 光纖的末端用光纖插頭或辮子組裝。
  • 可選購法拉第隔離器，以消除背部反射

FAQ  常見問題

氦氖雷射是精密干涉測量中常用的傳統雷射光源。在干涉測量中，雷射波長是測量參考。 SIOS氦氖雷射的波長可追溯至國際標準，並使用碘穩壓氦氖雷射進行校準。這種經認證的、可追溯至國家校準標準的特性，對於將雷射干涉測量用作校準工具至關重要。

此外，SIOS氦氖雷射具有優異的波長穩定性，且幾乎完全不受老化影響。目前，雷射二極體尚無法實現類似的波長可追溯性和老化穩定性。 

根據國際雷射安全標準DIN EN 60825-1，SIOS干涉儀被歸類為2M級雷射安全等級。由於人眼在暴露於強光源時會產生自動閉眼反射，因此此等級的雷射安全防護等級足以滿足要求，通常無需配戴專用安全眼鏡。

LM系列雷射干涉測量探頭是個例外，它的雷射安全等級為1級，因為雷射輻射不會穿透到外部。

獨立式雷射 SL02/SL03/SL04（不含干涉儀，僅以雷射光源提供）功率略高，屬於3R類雷射安全等級。用肉眼直接照射此類雷射可能很危險，因此需要配戴 632nm 雷射專用防護眼鏡。此外，可能還需要採取其他預防措施（例如機械連鎖式防護）。

如需更多信息，請聯繫您所在國家的標準機構。

氦氖雷射發出的光透過專用光纖傳輸到感測頭。這具有以下主要優點：

  • 由於採用了光纖耦合，雷射和控制器可以遠離被測物體，從而避免雷射產生的熱量影響物體。這也有助於減少可能影響頭部振動的因素。
  • 光纖耦合感測頭比雷射小得多。因此，此感測器頭更適合在空間有限的情況下進行測量，並且可以輕鬆地以任何方向放置。
  • 由於只需要對準兩個組件（光纖耦合感測頭和反射器），而不是三個組件（雷射、干涉儀、反射器），因此感測頭的調整要容易快速得多

感測頭部可採用鋁（標準）、不銹鋼和殷鋼製造。對於一般的校準應用，鋁是首選材料，因為在大多數應用中，長期穩定性（>數小時）並非關鍵因素。此外，鋁的重量輕，也使感測器更易於安裝。

對於需要長期穩定性的測量或將感測器頭整合到機器組件中的應用，感測器材料的熱膨脹係數應與基材相匹配，以避免因機械膨脹差異而產生的應力。不銹鋼材質的感測器頭適用於鋼和花崗岩組件。因瓦合金材質的感測器頭適用於Zerodur、陶瓷和石英組件。更多詳情請聯絡SIOS。

提供以下介面：

  • USB接口，包含用於位移、角度和振動測量的SIOS軟體
  • RS-232
  • AquadB：透過 RS422 介面提供數位增量正交訊號，解析度可在 1 nm 至 10 µm 範圍內配置，最多可同時傳輸四個通道。此介面常用於位置控制系統或運動控制器及其他閉環系統中作為回授感測器。
  • 幅度為 1 Vss 的模擬正交訊號（海德漢編碼器標準）。
  • 36 位元並行數位介面：以 36 位元數字資料字的形式輸出測量值。當需要高資料速率時，可使用此介面。需要使用 PC 數位 I/O 卡（例如美國國家儀器公司的產品）來連接此輸出。
  • 類比位移訊號：測得的位移（長度值）以類比電壓（0-1V）的形式提供，並具有多種可選靈敏度（V/nm）。此選項常用於振動測量，因為傳統的振動測量系統也提供這些模擬介面。對於真正的長度測量，由於分辨率有限，類比電壓通常不足以滿足要求。

USB介面幾乎是所有裝置的標準配備。其他介面則需作為選配組件訂購。

我們為干涉儀或振動計提供以下標準軟體：

  • InfasNTC：用於位移或長度測量的軟體，具有圖形顯示、資料保存和資料匯出功能。
  • InfasVibro：振動測量軟體，包括即時FFT分析
  • InfasAXIS：用於校準不同類型軸、工具機、座標測量機 (CMM) 及類似設備的軟體
  • InfasMTCAL：用於校準和校正不同類型軸、工具機、座標測量機 (CMM) 及類似裝置的軟體
  • InfasALIGN：用於快速軸對準的軟體
  • InfasPOINT：用於擷取單一測量值並將其傳輸到子資料庫或軟體的軟體
  • InfasGAUGE：量塊校準系統EPP軟體

有些任務需要針對特定應用場景開發軟體。我們擁有龐大的標準解決方案庫和豐富的測量應用經驗，可以作為後備方案。歡迎隨時聯絡我們以了解更多詳情。 

是的，您可以存取 USB 和 RS232 介面。我們提供全面的軟體支援：

  • 一個用於將乾涉儀嵌入 Windows 軟體的 Win32/Win64 DLL，包括 API 說明和用 C 語言編寫的範例軟體。該 DLL 可用於 Windows 的大多數程式語言。
  • 適用於大多數架構（i386、amd64、armhf 等）的 Linux .so 函式庫
  • LabVIEW 範例
  • Mathlab 和 Python 範例

干涉儀控制器具備觸發輸入，可觸發單一數值的測量及測量開始。它使得與其他測量設備以共用 TTL 脈衝同步。觸發器對外部事件（如索引開關啟動及增量編碼器脈衝）具有低延遲。

可選安裝觸發產生器卡，產生軟體控制的共用觸發脈衝，以同步不同測量裝置。

德國國家研究院 PTB 對 SIOS 干涉儀的校準顯示，平均系統性偏差約為 0.12 ppm，相當於 120nm/m。

雷射干涉儀在空氣中的測量精度主要受雷射光束沿空氣折射的影響。為了測定空氣折射，環境參數如溫度、氣壓和濕度會被高精度測量。

是的。可追溯測量對於校準應用至關重要，而我們的干涉儀在開發之初就考慮到了可追溯測量的前提條件。

我們的雷射干涉儀的校準由各國國家標準機構負責。相關服務清單可在國際計量局 (BIPM) 的網站上找到。在德國，布倫瑞克的德國聯邦物理技術研究院 (PTB) 為 SIOS 提供這些校準服務。

作為在國家研究所對整個涉儀進行校準的替代方案，SIOS 可以提供雷射頻率和環境感測器（溫度、氣壓、濕度）的單獨測試報告或 DAKKS 校準。

SIOS 在真空測量方面擁有豐富經驗。在真空中實施感測器頭需要特殊材料，包括感測器頭、電纜、連接器及真空導管。可依需求提供真空相容系統。申請真空相容系統時，請說明您的應用及真空規格（mbar）。