smartWLI compact 緊湊型白光干涉儀

• 適用於:MEMS,半導體,LCD,LED, Micro lens生物晶片等微結構表面形狀參數研究
• 量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,段差,平面度磨耗體積,曲率半徑等微結構表面參數量測
• 垂直量測精度:≦0.1nm, 量測範圍: 數nm到400um
• 可搭配物鏡:x2.5,x5,x10,x20,x50,x100,手動更換物鏡
• 可搭配手動或電動量測平台: X,Y,Z軸及旋轉,雙邊傾斜可調整
• 可方便整合在自動量測床台上