產品功能及特性
高精度XYZ多軸定位系統
高精度平台|龍門架構|具有 XYZ theta 的系統
應用領域 : 定位精度/重複定位精度要求高的設備、掃描設備、曝光設備、雷射雕刻、雷射加工等等。
高精度單軸定位系統
從微型軸到花崗石基座的解決方案
應用領域:電子製造、PCB 製造、檢測技術、非接觸式 2D 測量、檢測用感測器和相機定位、AOI(自動光學檢測)、自動化流程。
一般而言:對動態、精確度、可重複性、平滑掃描運動、短穩定時間要求較高的應用。
高精度加工主軸
空氣軸承以最高精度進行切削、研磨和鑽孔
應用領域:超精加工、玻璃銑削、晶圓鋸切、手機和平板電腦的光學鏡片和顯示器研磨、光學和醫療產品的微加工。
高精度轉盤
超精密旋轉運動 |被動或直接驅動
應用領域:
1.高精度定位和測量系統、檢查技術、測試系統、對定位的同步性或重複性有高要求的應用。
2.晶圓研磨、晶圓減薄、精密車削、拋光、研磨、晶片研磨領域的驅動/軸承應用。
空氣軸承墊塊元件
提供各種更高的精度、零磨擦和無塵室專用. 優勢性能:
高精密運動、大承載力、高性能、高阻尼、高速度和高加速度
高剛性、超靜音、100%安全預防、無摩擦運動、無塵室環境
高精度客製化空氣軸承系統